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              國產質量流量計

              更新時間:2019-08-19

              簡要描述:

              國產質量流量計耐壓100bar(產品在50MPa壓力下通過打壓測試),可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。Z大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的Z大流量可測到100SLPM。

                免費咨詢:86-10-87241391

                發郵件給我們:info@hammertech.com.cn

              一、國產質量流量計產品特點

              · 測量質量流量

              · 無需溫度和壓力補償

              · 結構緊湊

              · 精度高

              · 工作壓力高

              · 響應時間快

              · 重復性高

              二、國產質量流量計產品簡介

              本體耐壓100bar,可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。氣體大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的大流量可測到100SLPM。

              三、國產質量流量計技術參數

              型號

              質量流量計/質量流量控制器

              流量范圍(N2)

                10SCCM~100SLPM

                響應時間

                <2 sec

              精準度

                ≤±1% FS

                重復精度

                ±0.2% FS

                輸入/輸出信號

              0~5 Vdc OR 4~20 mA

              供電電源

                ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

               耐壓

                <100bar

              工作環境溫度

                0~50 °C

              漏率

                1*10E-9 atm cc/sec

              使用范圍

                2 ~ 100%

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